AS ONE冷却水循环装置
简要描述:AS ONE冷却水循环装置采用高扬程泵(最大流量40.7/44.6L/min・最大扬程13.6/19.1m),即使循环对象阻力较大也可实现顺利循环。标配旁路阀,可调整流量大小。可进行纯水循环,所以可作为半导体制造装置的冷却设备使用。标配外部运行、外部报警输出端子、外部报警输入端子/远程操作端子。
产品型号: MTC-1000
所属分类:ASONE
更新时间:2023-11-06
详细说明:
特点:
● 采用高扬程泵(最大流量40.7/44.6L/min・最大扬程13.6/19.1m),即使循环对象阻力较大也可实现顺利循环。
● 标配旁路阀,可调整流量大小。
● 可进行纯水循环,所以可作为半导体制造装置的冷却设备使用。
● 标配外部运行、外部报警输出端子、外部报警输入端子/远程操作端子。
● 停电恢复功能确保停电时可自动恢复运行。
规格:
● 附带验证的商品是在发货前在AZONE实施FAT(FactoryAcceptanceTest)的AZONE原创服务。
● 发货前进行验证(FAT)。
● 订购后,我们将向您发送FAT计划书(计划书),并在您签名返回后实施FAT。
● 附属文件:FAT报告书/使用测量仪校对证明书抄写
AS ONE冷却水循环装置
● ※附上Azwan原创的FAT要领书(参照画面左下样本)。
● 循环方式:密闭系统向循环
● 性能
● ▼外部循环能力(50/60Hz):最大流量40.7/44.6L/min、最大扬程13.6/19.1m(※单个泵的性能/室温20°C・50Hz・无负荷时的值。)
● 功能
● 温度设定、显示:座椅按键输入、数字显示
● 安全功能:漏电断路器、冷冻机过载、高压压力开关、循环泵过电流保护、水位警报
● 外部输入、输出:外部警报输出端子、外部运转输出端子、远程操作用端子、外部警报输入用端子
● 构成机器
● 制冷剂:R407C
● 外部循环连接口:排出口/返回口共・口径Rc3/4
AS ONE冷却水循环装置
● 温度调节范围(°C):10~30
● ※还可制作外装材质SUS430[No.4]规格。请咨询。
● 它还支持本地验证服务(IQ/OQ)。请一定询问。
● *现场验证服务是在安装现场进行安装资格确认(IQ)和操作性能资格确认(OQ)并提交检查文档的服务。
● ※希望在当地IQOQ时请另行咨询。报价时,需要安装地址。